Tantal hedefleri %99,99 düzlemsel hedef

Ürün ayrıntıları

Ürün adı:Tantal sputtering hedef

Yürütme standart: B708-98

Özellikleri: dairesel hedef (25-400) mm (3 / 28) mm çapını * kalınlığı

Kare hedef özellikleri: kalınlığı (1-12,7) mm * (10-600) mm * Uzunluk Genişlik (200-2000) mm

Toleransı: çap toleransı + / - 0.254

Marka: RO5200, RO5400, RO5252 (Ta-2, 5W), RO5255 (Ta-10W)

Saflık: %99.9

Rekristalizasyon: en az % 95

Tanecik boyutu: en az 40 m

Yüzey pürüzlülük: Ra 0,8 maksimum

Düzlük: veya 0,1 mm %0.10 maksimum.

Tantal plakaları hedefleri

Kimyasal compostion

Gr

Ana

diğerleri Max %

Ta

NB

Fe

Si

Ni

W

Mo

Ti

NB

EY

C

H

N

Ta1

hatırlatmak

——

0.005

0.005

0.002

0.01

0.01

0.002

0.04

0.02

0.01

0.0015

0.01

[a]

hatırlatmak

——

0.03

0.02

0.005

0.04

0.03

0.005

0.1

0.03

0.01

0.0015

0.01

TaNb3

hatırlatmak

<3.5

0.03

0.03

0.005

0.04

0.03

0.005

——

0.03

0.01

0.0015

0.01

TaNb20

hatırlatmak

17.0~23.0

0.03

0.03

0.005

0.04

0.03

0.005

——

0.03

0.01

0.0015

0.01

Ta2.5W

hatırlatmak


0.005

0.005

0.002

3.0

0.01

0.002

0.04

0.02

0.01

0.0015

0.01

Ta10W

hatırlatmak


0.005

0.005

0.002

11

0.01

0.002

0.04

0.02

0.01

0.0015

0.01




Sorgulama
[[ImgSrc-PhoneChat]]