Tantal dönebilen sputtering hedefleri
Ürün adı: Tantal tüp, Tantal Kılcal Boru
Yürütme standart: B521-98 ASTM
Marka: RO5200, RO5400, RO5252 (Ta-2, 5W), RO5255 (Ta-10W)
Özellikler: çapı 1.0-150mm
Kalınlığı 0,2-5.0 MM
Uzunluk 200mm - 6000mm
kimyasal bileşimi
牌号 | Mian kompozisyon | diğerleri max % | |||||||||||
Ta | NB | Fe | Si | Ni | W | Mo | Ti | NB | EY | C | H | N | |
Ta1 | hatırlatmak | —— | 0.005 | 0.005 | 0.002 | 0.01 | 0.01 | 0.002 | 0.04 | 0.02 | 0.01 | 0.0015 | 0.01 |
Ta2 | hatırlatmak | —— | 0.03 | 0.02 | 0.005 | 0.04 | 0.03 | 0.005 | 0.1 | 0.03 | 0.01 | 0.0015 | 0.01 |
TaNb3 | hatırlatmak | ＜3.5 | 0.03 | 0.03 | 0.005 | 0.04 | 0.03 | 0.005 | —— | 0.03 | 0.01 | 0.0015 | 0.01 |
TaNb20 | hatırlatmak | 17.0～23.0 | 0.03 | 0.03 | 0.005 | 0.04 | 0.03 | 0.005 | —— | 0.03 | 0.01 | 0.0015 | 0.01 |
Ta2.5W | hatırlatmak | 0.005 | 0.005 | 0.002 | 3.0 | 0.01 | 0.002 | 0.04 | 0.02 | 0.01 | 0.0015 | 0.01 | |
Ta10W | hatırlatmak | 0.005 | 0.005 | 0.002 | 11 | 0.01 | 0.002 | 0.04 | 0.02 | 0.01 | 0.0015 | 0.01 | |
Kullanıcılar Özel gereksinimleriniz varsa, iki taraf kabul etti
Tablo 1. Dış çapı ve duvar kalınlık toleransı
Od,inch(mm) | OD hoşgörü, inch(mm), + /- | duvar kalınlığı hoşgörü, %, +/- |
andlt; 1 (25,4) | 0,004 (0.102) | 10 |
1 ~ 1,5 (25,4 ~ 38,1) | 0.005 (0.127) | 10 |
1,5 ~ 2 (38.1 ~ 50.8) | 0.006 (0.152) | 10 |
2 ~ 2.5 (50.8 ~ 63,5) | 0,007 (0,178) | 10 |
2.5 ~ 3.5 (63,5 ~ 88.9) | 0.008 (0.254) | 10 |
İki masa. Mekanik özellikleri (komplementer)
Sınıf | Son çekme dayanımı, İnç (MPa) 2 başına pounds | En düşük verim gücü, 2 (MPa) inç başına pounds | Uzama, min % 1 inç (25,4 mm) işareti |
RO5200/RO5400 | 30000 (207) | 20000 (138) | 25 |
RO5252 | 40000 (276) | 28000(193) | 20 |
RO5255 | 70000 (481) | 60000 (414) | 15 |
RO5240 | 40000(276) | 28000 (193) | 20 |